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详细介绍
手及夹头机器人外围设备清单
晶片・液晶卡爪
纸页型晶片卡爪 WHA系列
WHA
可根据用户的需求规格设计并定制，相关事项请另行咨询。因为是边缘夹具，不会与内外面接触。
■固定、搬运。
采用夹紧搬运方式，可适用于各种搬运形态。可有效地防止装置高速化导致的芯偏移现象。
■不会接触晶片内外面。
只接触边缘部分，不会担心以夹紧或吸附方式搬运时留下痕迹。
■适用于1级洁净室。
■WHA系列
只设侧臂的单侧驱动式边缘夹具。
型号表现方法
规格
| 型号 | WHA-200AS | WHA-300AS | WHA-450AS | |
|---|---|---|---|---|
| 搬运工件 | 晶片 | |||
| 工件尺寸 | φ200 | φ300 | φ450 | |
| 搬运方式 | 边缘夹具 | |||
| 搬运数量 | 1片 | |||
| 驱动方式 | 闭合方向 | 弹簧（夹具方式） | ||
| 开启方向 | 真空压力-60KPa ~ 95KPa(采用负压气缸) | |||
| 工作行程 | 10mm（夹7mm 钳3mm） | |||
| 抓力 | ２．４Ｎ ～１．９Ｎ | 约7N | ||
| 洁净度 | FED规格 1级（需吸附） | |||
| 牙叉（fork）材质 | CFRP | |||
| 紧固件・挡片・垫板 | PEEK | |||
| 主体质量 | 约0.4kg | 约0.5kg | 约1.7kg | |
| 选项 | 开闭确认传感器 | |||
下载
| 目录（规格，尺寸） | DXF数据 | STEP，IGES数据 | |
|---|---|---|---|
| WHA-200ＡＳ-1 |  | 需要3D数据请向厂家咨询 | |
| WHA-300ＡＳ-1 | 需要3D数据请向厂家咨询 | ||
| WHA-450ＡＳ | 需要3D数据请向厂家咨询 |
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