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详细介绍
奈米深度3D形状显微检测仪 SWIM白光干涉仪使用说明书下载
特色
1. 奈米深度3D检测
2. 高速／无接触量测
3. 表面形状／粗糙度分析
4. 非透明／透明材质适用
5. 非电子束／非雷射的安全量测
奈米3D显微形貌快速呈现
SWIM系列扫描白光干涉仪结合Carmar公司的相移垂直扫描的技术与显微光干涉技术，不需要复杂光路调整程序，即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D奈米深度的表面检测分析，不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析，更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析， 并追溯至ISO国际规范。
SWIM系列扫描白光干涉仪结合Carmar公司的相移垂直扫描的技术与显微光干涉技术，不需要复杂光路调整程序，即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D奈米深度的表面检测分析，不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析，更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析， 并追溯至ISO国际规范。
SWIM系列扫描白光干涉显微检测仪，具有*的测量能力，可在几秒内就完成整个视场的扫描，得到测量样品的3D图形与高度数据，检测速度与深度量测能力优于逐点逐面扫描的共焦扫描显微镜，3D图形量测能力又优于扫描式电子显微镜的2D平面检测能力，且不需要使用电子束或雷射，开机快又安全。
无论是抛光面，还是粗糙面，甚至是透明材质，只要有超过1%以上的反射率就能够被检测。 SWIM系列显微检测仪适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测，应用领域包含：
1. 玻璃镜片
2. 镀膜表面
3. 晶圆（Wafer）
4. 光盘／硬盘（DVD Disk／Hard Disk）
5. 微机电组件 （MEMS Components）
6. 平面液晶显示器（LCD）
7. 高密度线路印刷电路板（ HDI PCB ）
8. IC封装（ IC Package）
9. 精密微机械组件（Micro Mechanical Parts）
10. LED基板表面微图案结购 (LED Subtract Micro-pattern)
11. 以及其它材料分析与组件微表面研究。
相移垂直扫描技术，使深度分辨率达0.1nm
SWIM系列显微检测仪提供Z轴扫描分辨率0.1nm，平面空间分辨力0.61nm(50X物镜)的量测能力，达12μm/s的垂直扫描速度，所具有的奈米3D显微形貌快速呈现能力是科研、研发、生产品检时所的工具。
机台规格 (以下为标准机台规格, 另可依客户需求增加电动平台或自动对焦模块)
型号 | SWIM 1510MS | ||||||
| 显示器主架构 | 显微镜本体0.5X | ||||||
物镜放大倍率 | 10X | 20X | 50X | ||||
观察与量测范围 长X 宽 mm | 1.67 X 1.33 | 0.84 X 0.67 | 0.34 X 0.27 | ||||
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光学分辨率 (mm) | 1.12 | 0.84 | 0.61 | ||||
工作距离 (mm) | 7.4 | 4.7 | 3.4 | ||||
量测用光学系统 | 白光干涉显微光学系统 | ||||||
高度测量 | 测量范围 | 100 mm ( 400 mm, 选配) | |||||
量测分辨率 | 0.1 nm | ||||||
重复精度(σ) (1) | ≦ 0.1 % ( 量测高度： > 10 m m) ≦ 10 nm ( 量测高度：1 m m ~ 10 m m) ≦ 5 nm ( 量测高度： <1 m m ) | ||||||
量测控制 | 自动 | ||||||
扫瞄速度 (nm ／s) | 12 （） | ||||||
观察与量测用光源 | 光源类型 | 仪器用卤素光源 | |||||
平均使用寿命 | 1000小时 | ||||||
光强度调整 | 自动 ／手动 | ||||||
取像单元 | 影像传感器 | 黑白 CCD数位摄像机 | |||||
传感器分辨率 | 1280 x 1024像素 | ||||||
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样品移动平台 | 观察移动平台 | 行程 | 150 mm x 100 mm, 手动 | ||||
载重 | 大于 10 kg | ||||||
Z 轴移动范围 | 80 mm，手动 | ||||||
位置数字显示单元 | 三轴光学尺与三轴数字显示器 (分辨率1 mm) | ||||||
倾斜调整平台 | 手动 | ||||||
底座 | 花岗岩 | ||||||
数据处理与显示用计算机 | 处理运算单元 | 双核心CPU | |||||
影像与数据显示屏幕 | 17" 液晶屏幕 | ||||||
存储装置 | 160 GB 以上硬盘机 | ||||||
操作系统 | WindowsXP (2) | ||||||
电源 | AC110V ／220V ，50Hz ／60Hz | ||||||
重量 | 约150 kg (含花岗岩底座) | ||||||
分析软件 | WindowsXP 兼容的影像撷取与分析软件, 包含 ISO 粗糙度/阶高分析,快速傅利叶转换和滤波, 多样的 2D和 3D 观测视角图, 外形／面积／体积分析, 图像缩放, 标准影像档案格式转换, 报表输出等等。 | ||||||
阶高标准片(选配) | 提供 50 nm-- 150 mm 多种规格 | ||||||
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