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详细介绍
UPG84NC
超精密平面磨床
(左右行程手動位移按鍵式入力定位方式，奈米自由曲面研磨控制)可以研磨級水準之原始測定器以及陶瓷軌道
(不需要拋光加工就可讓砂輪在加工時之研磨面左右極限*不會產生多餘磨耗現象)
■機械重量為向來機種之2 倍強化高剛性結構及採用光學式回饋尺方式，可回朔支援上下進給10nm之正確動態精度。
■搭載可變靜壓軌道系統，已克服過去一成不變難以負荷載重之弱點。滑軌面剛性比以往強化了4倍。
■左右衝程設定以位移定位按鍵式直接輸入控制，至高無上控制新技術可對應各種方式加工需求。
■使用全密閉安全罩並保持機械內恆溫恆濕之環境，並藉由大量研磨液之供給，控制蒸發，能防止工件因表面溫度降低產生形狀之變化。
(左右行程手動位移按鍵式入力定位方式，奈米自由曲面研磨控制)可以研磨級水準之原始測定器以及陶瓷軌道
(不需要拋光加工就可讓砂輪在加工時之研磨面左右極限*不會產生多餘磨耗現象)
■機械重量為向來機種之2 倍強化高剛性結構及採用光學式回饋尺方式，可回朔支援上下進給10nm之正確動態精度。
■搭載可變靜壓軌道系統，已克服過去一成不變難以負荷載重之弱點。滑軌面剛性比以往強化了4倍。
■左右衝程設定以位移定位按鍵式直接輸入控制，至高無上控制新技術可對應各種方式加工需求。
■使用全密閉安全罩並保持機械內恆溫恆濕之環境，並藉由大量研磨液之供給，控制蒸發，能防止工件因表面溫度降低產生形狀之變化。
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