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MCV-5000激光干涉仪

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更新时间:2021-07-28 09:31:53浏览次数:769

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产品简介

MCV-5000系列激光测量系统是为大型五轴数控机床检测而设计

详细介绍

 

MCV-5000系列激光测量系统是为大型五轴数控机床检测而设计。 MCV-5002激光测量系统是MCV-5000系列中的基本型,它具有直线位移测量、大型机床主动轴和从动轴直线位移同步测量、分轴步进对角线测量、角偏(俯仰角、偏摆角)和直线度(上下直线度、水平直线度)测量功能。 MCV-5003是在MCV-5002基础上增加第四轴、第五轴测量功能组成。 MCV-5004是在MCV-5002基础上增加二套动态测量组件,具有动态测量功能、圆形轨迹测量和分析、非圆形轨迹测量功能。 MCV-5005是在MCV-5002基础上增加第四轴、第五轴测量,增加二套动态测量组件,具有动态测量功能、圆形轨迹测量和分析、非圆形轨迹测量功能。

 

主要特点与功能:
测量旋转的ABC轴的转动精度
无三脚架及干涉镜、结构简单、重量轻、携带方便
具有长行程(标准配置30m、特殊订货可达60m100m)
非接触的圆形轨迹测量和分析功能,具有非接触、高精度、高进给、小R的特点
具有空气压力、空气温度、空气湿度及材料温度自动补偿,安装方便、对光方便、精度高
二套独立的动态测量系统,可测量机床在直线运动、二轴插补运动时的位移、速度、加速度等动态特牲
二个独立的激光头,可进行直线位移测量、大型机床主动轴和从动轴直线位移同步测量、直线度(上下直线度、水平直线度)的测量
有分轴步进对角线测量功能,通过对加工的四根对角线的分轴步进测量,可以分析出十二项误差:三个轴的位移误差、六项直线度误差以及三个轴之间的垂直度误差,生成补偿程序通过控制器进行补偿以提高机床的空间精度。

 

MCV-5000基本技术参数

激光频率稳定性

±0.05ppm

 

氦氖激光管

2

 

激光输出功率

1mW

 

激光管寿命

40000小时

 

空气温度传感器精度

±0.1

 

空气压力传感器精度

±1.1mmHg

 

材料温度传感器精度

±0.1

 

环境温度(湿度)

5-38 0-95%)

 

电源电压(电源频率)

90-265V50-60Hz

 

线性位移测量

测量距离

≥30m60m,100m可选)

 

分辨率

1nm

 

精度

±0.5ppm

 

速度

5m /

 

主从动轴同步性检测

数据采样速率

1-1000个数/

 

角偏(俯仰角、偏摆角)

测量距离

≥30m60m,100m可选)

 

分辨率

0.2

 

精度

±0.2%±0.2

 

测量范围

角度:±10

 

速度

4m /

 

直线度测量

测量距离

≥30m60m,100m可选)

 

精度

±0.2%±0.01 微米

 

测量范围

±1000 微米

 

速度

5m /

 

两导轨平行度检测

距离

≥30m60m,100m可选)

分辨率

1nm

精度

±1ppm

         

 

 

 

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