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MCV-500+SD-500激光干涉仪

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更新时间:2021-07-28 09:32:20浏览次数:628

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产品简介

MCV-500+SD-500除具有MCV-500位移测量功能外,还具有矢量体积(空间精度)测量功能(矢量测量方法与仪器,美国6519043号2003年2月11日)

详细介绍

 

MCV-500+SD-500除具有MCV-500位移测量功能外,还具有矢量体积(空间精度)测量功能(矢量测量方法与仪器,美国65190432003211日)。它用长方形平面镜做靶标,通过对机床四根对角线的分轴不仅测量和分析可以得到机床的十二项误差:三项垂直度误差、三项直线位移误差、六项直线度误差。通过对这十二项误差的补偿来提高机床的空间精度,软件可根据不同的控制器自动生成相应的补偿程序进行补偿,也可通过软件对零件加工程序G代码自动修正,提高零件加工精度。

 

检测功能:

1
、三维矢量法分轴步进空间体对角线检测
通过分轴步进对三维空间四根对角线测量可同时得到:
X
YZ 轴的3 个定位精度误差;
X
YZ 轴的水平、垂直方向的6 个直线度误差;
X
YZ 轴之间的3 个垂直度误差;
测量范围:(3m×2m×1m)空间;

2
、二维矢量法分轴步进平面体对角线检测
通过分轴步进对二维平面两根对角线测量可同时得到:
X
Y 轴的2 个定位精度误差;
X
Y 轴的水平、垂直方向的4 个直线度误差;
X
Y 轴之间的1 个垂直度误差;
测量范围:(3m×2m)空间;

3
、购买SD-500 后,还可以实现传统体对角线检测
可以通过XYZ 三轴联动直接检测三维空间的四根体对角线精度;
标准依据:ISO230-6

 

MCV-500基本技术参数

激光频率稳定性

±0.05ppm

氦氖激光管

2

激光输出功率

1mW

激光管寿命

40000小时

空气温度传感器精度

±0.1

空气压力传感器精度

±1.1mmHg

材料温度传感器精度

±0.1

环境温度(湿度)

5-38 0-95%)

电源电压(电源频率)

90-265V50-60Hz

线性位移测量

测量距离

≥15m30m,60m,100m可选)

分辨率

1nm

精度

±0.5ppm


速度

5m/

向量法体对角线检测

分辨率

1nm

精度

±0.5ppm

测量范围

3m×2m×1m

速度

4m /

可检测出机床3个定位精度、6个直线度、3个垂直度误差

 

 

 

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