硅微机械陀螺

图1 陀螺结构

一、原理结构

    图1是用于敏感旋转载体横滚（或俯仰）角速率的硅微机械陀螺结构图，1为单晶硅质量，2为单晶硅弹性扭转支撑梁，3为玻璃电极极板，4为玻璃电极极板上蒸镀的金属电极。玻璃极板和质量之间的间隙为20μm，玻璃板的四个电极和质量之间形成四个电容器。坐标系OXYZ固定于陀螺的质量上， ?为质量沿OY轴的摆动角速度，φ为载体的旋转角速度， Ω为载体的横滚（或俯仰）角速度（即被测角速度）。陀螺固定于旋转载体上，当旋转载体以φ 角速度旋转的同时又有横滚（或俯仰）角速度Ω 输入时，单晶硅质量就受到周期性变化的哥氏力（哥氏力变化频率为载体旋转频率）作用，使质量产生沿OY轴摆动，从而引起由单晶硅质量和玻璃电极构成的四个电容器C₁ 、C₂、C₃、C₄ 的变化，把电容变化信号转换成电压变化信号之后经放大，便得到和被测角速率Ω 成比例的电压信号。

二、技术指标

三、用途

    本陀螺用于敏感旋转体的横滚（或俯仰）角速率，例如，飞行体的横滚或俯仰角速率，钻井钻头垂直度和稳定度的控制等，它具有廉价、体积小、重量轻、功耗低、产品一致性好，性能稳定等特点。

CRS-A01微机械陀螺

量程                ±200°/s(可选)
比例系数            （15mV±5 mV）/°/sec
比例系数温度特性    ＜0.05％/℃
零位电压范围        0±100 mV
零位变化（全温度）  7°/sec
加速度影响         ＜0.05/sec/g
起动时间           ＜3sec（Typical）
频响               ＞50Hz
线性度             ＜0.05％
供电电压           ±15V
供电电流           ≤20mA
工作环境：
  工作温度       -40℃ ～ +80℃
  储存温度       -55℃ ～ +100℃
振动               6g，20～2000Hz，三分钟
冲击               500g，半正弦
重量               100g

CRS-T01型微机械陀螺惯性组合

1. 三轴角速度陀螺
1.1 测量范围           　　≥±150°/s
1.2 线性度 (F.S)        　0.1%
1.3交叉耦合           　0.1%
1.4 分辨率             　0～±5°/s          　≤0.002°/s 
                      　±5°/s～±150°/s     ≤0.02°/s
1.5零位漂移           　≤±0.01°/s/h  (1σ)
1.6 零位逐次启动重复性 　≤±0.01°/s  (1σ)
1.7 带宽               　≥50HZ    
2. 三轴线加速度计
2.1 测量范围          　≥30 g
2.2 线性度 (F.S)       　5×10―4     
2.3 交叉耦合          　5×10―4
2.4 零位综合误差     　 ≤3×10―4 g    
2.5 带宽              　≥100HZ  
3. 环境适应性
3.1 工作温度          　－40℃～＋60℃
3.2 储存温度          　－55℃～70℃
3.3 振动             　 20～2000HZ   6g，1分钟， 轴向。
3.4 冲击              　100g，持续时间：5～8ms，三方向。
4. 工作电源           　28±3V   电流：≤0.5A
　加热电源  　　　　　　28±3V   电流：≤3A
5. 外形尺寸           　φ120mm×150mm
6. 重量              　 3.5kg