LMX2E线性马达系统

特征： 应用：

直线度可达10um 半导体设备
X轴***6m Y轴0.5m行程 自动化搬送
以线性滑轨架构之定位平台 FPD设备
良好接地设计防止杂讯干扰 太阳能製造设备
Z向震动可达奈米等级以下 PCB设备
***速度可达5m/s 水刀设备
标准重现精度1um或以下 鑽石切割产业
位置回馈系统解析度***可达50nm AOI检测设备
工具机