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LMX2E

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更新时间:2021-05-14 09:53:59浏览次数:189

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产品简介

LMX2E

详细介绍

特征:

直線度可達10um

X軸***6m Y軸0.5m行程

以線性滑軌架構之定位平台

良好接地設計防止雜訊干擾

Z向震動可達奈米等級以下

***速度可達5m/s

標準重現精度1um或以下

位置回饋系統解析度***可達50nm

应用:

半導體設備

自動化搬送

FPD設備

太陽能製造設備

PCB設備

水刀設備

鑽石切割產業

AOI檢測設備

工具機


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