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详细介绍
高刚性研磨机--HRG3000RMX
特征
●全自动高刚性三轴研磨机
●实现快速无损伤加工
●加工成本低 加工精度高 实现镜面加工
类别 | HRG3000X |
全自动高刚性三轴研磨机 | |
外观 | 尺寸：1750（W）×3525(D)×1978(H) mm |
重量：11000 Kg | |
晶圆尺寸（mm） | 300 |
磨轮直径（mm） | 300 |
磨轮转速（rpm） | 3600 |
工作台转速（rpm） | 650 |
磨轮主轴功率（kw） | 11 |
单片总厚度偏差：TTV（μm） | 0.5(带自动TTV功能) |
片与片厚度偏差：WTW（μm） | ±0.5(带自动TTV功能) |
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类别 | RM3000-HRG |
外观 | 尺寸：1500（W）×4250(D)×1800(H) mm |
重量：1600 Kg | |
晶圆尺寸（mm） | 300 |
切割胶膜直径（mm） | Φ230（单卷宽度430mm） |
揭膜胶带直径（mm） | Φ200（单卷宽度50mm） |
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