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详细介绍
高刚性研磨机--HRG300
HRG300 既可以对大尺寸晶圆（300 ｍｍ）进行单枚加工，也可以对小直径工件进行多枚同时加工。
特点
■ 高刚性
■ 高加工效率
■ 低消耗
■ 搭载多枚同时加工的 IPG 功能
■ 加工时的磨轮修正单元（选配）
可研磨材料：难加工的硬脆材料，比如蓝宝石，碳化硅，氮化镓和氮化铝
可加工尺寸：直径2-12英寸
可加工厚度：20mm(包含基座)
●规格参数
类别 | HRG300 |
高刚性研磨机 | |
设备尺寸和重量 | 尺寸：1540（W）×1880(D)×2010(H) mm |
重量：3700 kg | |
加工直径（mm） | 300 |
磨轮直径（mm） | 300 |
磨轮转速（rpm） | 3600 |
工作台转速(rpm) | 400 |
主轴功率(KW) | 11 |
工作台功率（KW） | 2 |
全自动监测 | 实时测量治具（支持多片同时加工） |
研磨精度（μm） | 0.1 |
不间断修磨 | 选配 |
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