详细介绍
探针台--UF200R
此探针器是专为通用逻辑装置而设计,不仅继承了UF200的基本概念,同时进一步采用了新技术的架构。
特点
● 它可执行5至8英寸晶圆的传输与针测。
● 采用和UF2000相同的MMI。
● 多种选择,可达成所有非业界标准种类的晶圆针测。
选项
针测环境可接纳高温至低温
4英寸晶圆探测环境
枢纽型机械手臂是为了针测端而设计
封装与超薄晶圆的传输是经由特殊传输机制
SEMS是经由特殊机制传输
微小电流针测环境
高压电针测环境
广泛多样的网络环境
探针追踪检查功能