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晶圆检测 晶圆定位传感器 M-DW1

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更新时间:2021-07-27 13:13:27浏览次数:301

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产品简介

采用安全的LED光源的反射型晶圆定位传感器

详细介绍

采用安全的LED光源的反射型晶圆定位传感器

晶圆定位传感器  M-DW1
CE※1 Recognition※2
※1EMC指令
※2Recognition认证

特点

安全性的LED式

以往使用激光的激光式定位传感器,激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员,十分危险。
M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。

安全性的LED式

亦可检测玻璃晶圆

M-DW1以反射光的位置来检测,不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。

亦可检测玻璃晶圆

可检测涂氮晶圆

氮化膜具有可吸收特定波长光的性质,吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。因此,对于使用单波长激光的传感器,可能会因光全被吸收而无法检测。
而LED光源的光具有一定波长段,即使氮化膜晶圆也可准确检测。

0.5ms的高速反应

实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和高精度。

基于2段受光元件的高精度位置检测

利用反射光量检测时,反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。M-DW1的受光部使用2段受光元件,通过反射光位置而非反射光量进行检测。因此,受晶圆厚度和反射光量的影响较小。

基于2段受光元件的高精度位置检测

可从四个方向引出电缆

传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。

可从四个方向引出电缆

内置放大器的小巧、轻盈型

尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm,质量约为75g的小巧、轻盈型。

内置放大器的小巧、轻盈型

种类

型号形状中心检测距离检测物体输出
M-DW1 45mm3以上的半导体晶圆NPN输出/PNP输出通过切换开关选择

规格

种类LED式反射型
型号M-DW1
中心测量距离45mm
检测物体3英寸以上的半导体晶圆(注2)
可对应检测面有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)
检测角度12.5±5°(注4)
晶圆间距间距3mm以上时,可按通常灵敏度进行分离检测(注5)
适用晶圆盒SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒
电源电压12〜24V DC±10% 脉动P-P10%以下
消耗电流65mA以下
输出NPN输出/PNP输出 可由切换开关选择

NPN开路集电极晶体管
・流入电流:100mA 
・外加电压:30V DC以下(输出和0V之间)
・剩余电压:1V以下(流入电流为100mA时)
        0.4V以下(流入电流为16mA时)

PNP开路集电极晶体管
・源电流:100mA
・外加电压:30V DC以下(输出和+V之间)
・剩余电压:1V以下(源电流为100mA时)
        0.4V以下(源电流为16mA时)
输出动作可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON
短路保护装备(自动复位)
反应时间500μs以下
工作状态指示灯橙色LED(输出ON时亮起)
稳定指示灯绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)
定时器功能装备约2ms固定断开延迟定时器 有效/无效切换式
投光停止输入信号条件
・投光停止:断开或4〜8V
・投光:0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)
灵敏度切换输入信号条件
・输入OFF:断开或4〜8V
・输入ON :0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)
灵敏度设定背面教导:按本体灵敏度设定按钮运行
检测灵敏度切换:本体开关2bit、4级或外部输入的2级选择式



保护构造IP20(IEC)
使用环境温度0〜+55℃(注意不可结露)、存储时:−10〜+70℃
使用环境湿度35〜85%RH、存储时: 35〜85%RH
使用环境照明度白炽灯:受光面照明度3,000lx以下、荧光灯:受光面照明度1,500lx以下
耐电压AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间
绝缘电阻所有电源连接端子与外壳之间,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
耐振动频率10〜500Hz 双振幅3mm X,Y和Z方向各2小时
耐冲击耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回
投光元件LED(调制式)
材质外壳:ABS及SUS301、透镜: 丙烯
电缆0.15mm2 5芯橡皮电缆,长300mm
电缆延长0.15mm2 以上的电缆全长可延长至10m
重量本体重量:约75g

(注1):无的测量条件为使用环境温度=+20℃。
(注2):检测8英寸以下的晶圆时,可能会因晶圆间距、定位边或表面的状态等而影响检测。
(注3):对于经研磨后厚度变薄的晶圆,如果其端面呈刀刃状,可能会因光线不能从检测面向受光方向反射而难以检测。
(注4):晶圆旋转时,定位边的跳动角度约为±20°。
(注5):斜向插入8英寸晶圆时的附近的间距。检测带定位边的晶圆时,对于避开定位边的检测位置,晶圆间距变得更窄,检测信号无法分解,变为连续的宽幅信号。

尺寸图

  • 单位mm

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