精密零件加工不可能在一道工序内完成所有表面的全部加工内容，精密零件加工的整个加工工艺过程可以分为以下几个阶段：

(1)粗加工阶段。切除各加工面的大部分加工余量，并加工出精基准，主要考虑尽可能大地提高生产率。

(2)半精加工阶段。切除粗加工后可能产生的缺陷，为表面的精加工做准备，要求达到一定的加工精度，保证适当的精加工余量，同时完成次要表面的加工。

(3)精加工阶段。在此阶段采用大的切削速度，小的进给量和切削深度，切除上道工序所留下的精加工余量，使零件表面达到图样的技术要求。

(4)光整加工阶段。主要用于降低表面粗糙度值或强化加工表面，主要用于表面粗糙度要求很高(ra≤0.32μm)的表面加工。

(5)超精密加工阶段。加工精度在0.1—0.01μm，表面粗糙度值ra≤0.001μm的加工阶段。主要的加工方法有：精密切削、精镜面磨削、精密研磨和抛光等。