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详细介绍
主动式气动悬挂系统MRZ系列
主动式气动悬挂系统
基于MAPS系列，我们开发了高性能，合理的主动式气动悬架系统MRZ系列！
业务领域
用于测量
对于半导体
特征
应用领域
FPD ・半导体医师设备，电子显微镜，UHV-SPM，量测机，超精密切割机等
六个自由度的主动隔振
每个单元都有两个气压执行器：垂直和水平，并具有出色的隔振，抑制振动和精确定位的性能。
FB + FloorFF控制
FB：反馈
FloorFF：地板前馈
StageFF：舞台前馈（选件）
「轻巧紧凑」「节省电力」「合理价格」！
实现轻巧紧凑，省电，价格合理。
日本第5457821号
- 规格
| 类型 | MRZ-200 | MRZ-330 | MRZ-520 |
|---|---|---|---|
| 每4个单位的有效载荷范围[kg] | 1,500〜4,400 | 4,000〜12,800 | 10,000〜32,000 |
| 单位尺寸W×D×H [mm] | 324x252x191 | 504x404x191 | 694x594x191 |
| 单位质量[kg /单位] | 34 | 60 | 110 |
| 供给气压[MPa] | 0.6〜0.8（清洁干燥空气） | ||
| 典型耗气量[l / min] | 45〜65 | 120〜170 | |
| 耗气量[l / min] | 120 | 300 | |
| 电源电压[V] | 100〜240（单相AC，50 / 60Hz） | ||
| 功耗[VA] | 120 | ||
| 环境温度[℃] | 0〜40 | ||
| 相对湿度[％RH] | 35〜85 | ||
| 隔振方法 | 气压控制隔振 | ||
| 控制器尺寸[mm] | W435xD300xH118 | ||
| 控制器质量[kg] | 7.5 | ||
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