工作站式主动隔振系统ME40-D系列

工作站式主动隔振系统ME40-D系列

紧凑的机身具有六个自由度的主动隔离机构

近年来，纳米技术领域取得了长足的进步，因此，客户的需求也在不断发展。ME40系列在这个不断变化的领域中是可靠的合作伙伴，能够通过限度地提高高精度和高分辨率精密仪器的性能来满足您的纳米技术需求。紧凑的机身具有六个自由度的主动隔离机构，可产生超越传统被动隔振系统功能的理想振动环境。

业务领域

用于显微镜

用于测量

用于表面分析

特征

六个自由度的主动隔振

该系统可以在三个维度（六个自由度）上控制振动，同时连续监控装载台的振动。这是通过使用集成的执行器为测量的振动提供相反的相位信号来完成的。

多种尺寸选择

我们提供四种尺寸-两种台式机和两种工作站。对于台式机类型，将阻尼铝板用作装载台，而将钢蜂窝光学台面用于工作站类型。

自动主动控制和水平调节

我们最初开发的控制系统优化了增益控制，这是主动隔振的重要组成部分。

（请注意，在某些情况下，取决于安装环境或ME40系列是否与可移动仪器（如高精度工作台）一起使用，自动控制可能不起作用。）

仅需单个电源即可运行

运行ME40系列需要的就是电源。不需要来自压缩机或其他装置的空气供应，使您可以在任何地方使用ME40系列。

应用领域

精密测量和处理仪器，例如扫描探针显微镜（SPM），共聚焦激光显微镜，干涉仪系统，3D配置测量设备和位移计系统