气动隔振系统AP系列

气动隔振系统AP系列

您可以低成本地组成适合您的精密机器的最合适的隔振系统。

隔振系统必须具有灵活性和出色的性能，这一点很重要。因为这是安装在这些精密机器上调试过的隔振系统的方法。即“ AP系列"隔振系统，可以立即适应您的需求。除了具有隔振功能外，“ AP系列"还具有系统可扩展性。该隔振系统“ AP系列"为理想的隔振环境提供了条件。

业务领域：

用于测量

对于半导体

特征

Meiritsu的气动隔振系统在该技术的实际成果中具有搅拌性能。

我们采用了在从显微镜或激光应用技术到半导体制造/检查设备的各种领域中取得了许多实际成就的气动系统。

我们向您保证，您将在从3 Hz到数百Hz的宽频带中获得出色的隔振性能。

而且，在空气供应停止的情况下，安装在空气弹簧下部的橡胶保护了所安装机器的精确机构。

“ AP系列"是通用系统的单元类型。

当在机器中安装振动隔离系统时，需要占用机器的较小空间。

“ AP系列"是一种紧凑型的隔离系统，由空气弹簧和机械调平阀组成。

您可以在设备中安装“ AP系列"，而无需大规模修改设备的结构，并且可以获得良好的隔振性能。

AP系列1

“ AP系列"的所有高度均标准化为185mm。

“ AP系列"的所有高度均标准化为185mm。即使必须增加或减少机器的重量，也可以在不改变机器安装空间高度的情况下安装其他类型的“ AP系列"。

“ AP系列"涵盖了广泛的负载质量。

需要振动隔离系统的精密机器的种类繁多和用途日益多样化。为了满足要求，我们提供了11种类型的“ AP系列"，从“ AP-80"到“ AP-380"。即使精密机器的重量为数百公斤或超过10吨，也可以从“ AP系列"中选择合适的一种。

负载运动的高性能。

在进行工件处理，平板传送和自动处理/测量机器的平台移动的情况下，即使由作为弹性体的空气弹簧支撑，也需要位置重复性。

“ AP系列"具有由Meiritsu开发的标准的高灵敏水平阀。定位重复性在+/- 200微米以内。

人们通常会说，阶段移动得越快，发生晃动的问题就越多。这些就是我们所说的俯仰，偏航或滚动。

如果选择可选的两步式调平阀，则可以缩短收敛时间。

作为被动型隔离系统的极限灵敏度，您可以获得+/- 100微米以内的定位重复性。

如果您预测会聚时间会导致一些问题，请务必与我们提前联系。

您也可以在无尘室中使用“ AP系列"。

在高水平洁净室中使用“ AP系列"时，您可以为洁净室选择调平阀，该阀可以排出空气并汇入管子中以进行疏散。

请联系我们以获取详细信息，因为这是一项特殊订单。请注意，两步式调平阀不适用于洁净室。

选择“ AP系列"的类型或设计要安装“ AP系列"的设备时，请注意。

需要空气弹簧之间更大的跨度。

在浅蓝色三角形区域内（在日本手册的封底中）调整包括装纸板在内的装纸装置的重心位置。

考虑到工程移动时最单侧的负载条件，请选择“ AP系列"。如果有加载板的晃动或收敛时间有任何问题，请提前咨询我们。如果您给我们提供了诸如运动物体的质量，速度，加速度和行程之类的信息，我们很乐意为您提供建议。

在装载板的圆周上盖上盖子或类似物时，应留出10mm或更大的间隙。

当您移动装有防振系统的设备时，请确保确认压紧了载物板和底座/基板。

选择较高刚度的承重板和基座/基板，以实现充分的隔振性能。

“ AP系列"的标准类型包括四个空气弹簧。但是，您可以选择其他类型的“ AP系列"，该类型由六个，八个或更多的空气弹簧组成。如果您有任何想法，请与我们联系