超精密数控机床系统主要有三个部分：主轴、横向进给机构、纵向进给机构。

高速三轴数控机床主轴由空气磁力轴承支承，小型三轴数控机床用带有变频器的电动机驱动，功率为1500W；横向进给机构与纵向进给机构均采用花岗石滑台与方导轨结构，各由一台伺服直接驱动滚珠丝杠带动滑台在导轨上移动，电动机功率为850W。

技术要求：

（1）横、纵向进给的操作采用手柄式控制开关操作（十字选择开关，中间有快速选择按钮）。

（2）进给的速度可调（最小为2mm/min），可实现自动/手动进给，移动精度为0.1um。

（3）横、纵向的移动应有锁定开关。

（4）主轴旋转可调速50-1800r/min（60Hz达到1800r）采用无级变速，且有相对的转速指示。

（5）主轴旋转的起、停均需有缓冲过程（慢爬、慢停），主轴旋转应有保护电路，断电时应缓慢停止旋转。

（6）气压保护，控制机床的正常运转（0.4MPa），低于设定值时机床不能工作（或停止工作）。

（7）电源、气源有正常工作灯指示。

（8）其余要求按常规机床实施。有电控箱、人机对话控制台、手柄式控制进给操作手柄组成。