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详细介绍
超精密三坐标测量机
是新一代高精度高速度固定龙门式坐标测量机。具有完善的测量精度，全花岗石结构，配备陶瓷Z轴，完善的气动平衡和优化的气浮轴承分布，能够大限度减少移动部件的质量。Micro Plus测量机集单点探测和模拟扫描技术为一体的高性能检测设备，同时可配制接触式和非接触扫描测。基于新一代高稳定性控制系统，并与精度补偿系统进行结合与优化，加上*的算法，可实现高速、高精度模拟开环以及闭环扫描。
技术规格参数：
| 型号 | 行程范围(mm) X*Y*Z | MPEe(um) |
| Micro Plus | 600*800*600 | 0.9+2.5L/1000 |
| 800*1000*600 |
产品要点：
1、封闭框架固定龙门式结构
2、工作台在底座的燕尾导轨上移动
3、Y向导轨是矩形花岗石，Z轴采用超精加工陶瓷
4、各轴使用预载荷空气轴承
5、测量系统：HEIDENHAIN 金属光栅
6、气动可调节的主轴平衡系统
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