详细介绍
焦距(EFL)测量
EFL+/- | OptiSpheic | OptiSpheric L | OptiSpheric Autofocus | OptiSpheric L Autofocus | OptiSpheric 1000 Autofocus |
标准测量范围 | +5 … + -5 … | +5 … + -5 … | +5 … + -5 … | +5 … + -5 … | +5 … + |
扩展测量范围 | 1 … | 1 … | 1 … | 可达 |
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样品直径 | 1 … 35(75)mm | 1 … 35(75/150)mm | 1 … 35(75)mm | 1 … 35(75/150)mm | 1 … 75(150)mm |
重复性 | 0.03 … 0.2% | ||||
测量精度 | 5 … 25 … 500 … | ||||
测量时间 | 手动聚焦:3 … 20秒 测量时间:鼠标点击 | *测量:5 … 8秒 后续测量: 3 … 5秒 |
轴上传递函数(MTF)测量
在轴MTF测量 | OptiSpheic | OptiSpheric L | OptiSpheric Autofocus | OptiSpheric L Autofocus | OptiSpheric 1000 Autofocus |
测量范围 | 优良MTF测量: 5 … | 优良MTF测量: 5 … | 优良MTF测量: 5 … | 优良MTF测量: 5 … | 优良MTF测量: 5 … |
测量模式 | 手动聚焦,自动测量 | 自动聚焦,自动测量 | |||
波长范围 | 400 … 750(1000)nm | ||||
空间频率 | 0 … 300(500)lp/mm | ||||
刀口分析 ● 重复性 ● 精 度 | 2% 3% | ||||
狭缝评价 ● 重复性 ● 精 度 | 1% 2% |
后截距(BFL)和曲率半径测量
BFL/FFL 曲率半径 | OptiSpheic | OptiSpheric L | OptiSpheric Autofocus | OptiSpheric L Autofocus | OptiSpheric 1000 Autofocus |
测量范围 | +/-3…+/ | +/-3…+/ | +/-3…+/ | +/-3…+/ | +/-5…+/ |
重复性 | 0.03 … 0.2% | ||||
测量精度 | 0.05% … 0.3% |
扩展型的技术参数:中心偏差测量
透射和反射法测量中心偏差 | OptiSpheic | OptiSpheric L | OptiSpheric Autofocus | OptiSpheric L Autofocus | OptiSpheric 1000 Autofocus |
测量范围 | +/-3…+/ | +/-3…+/ | +/-3…+/ | +/-3…+/ | +/-5…+/ |
可扩展到+/- | |||||
重复性 | +/- 0.1微米或者+/-1秒 | ||||
测量精度 | +/- 0.2微米或者+/-2秒 | ||||
测量时间 | 3 … 15秒 |
角度测量
角度测量 | OptiSpheic | OptiSpheric L | OptiSpheric Autofocus | OptiSpheric L Autofocus | OptiSpheric 1000 Autofocus |
分辨率 | 0.01秒 | ||||
重复性 | 0.2秒 | ||||
测量精度 | 1秒 |