双光路中心偏差测量仪

型 号

（手动型，自动型）

OptiCenteric

OptiCentric

L

OptiCentric

MOT

OptiCentric

MOT 2R

样品直径范围

气浮平台直径

225

225

225/600

100/300

225/400/600

100/300

标准测量范围

（焦距、曲率半径）

±5 …±250mm

±5 …±400mm

±5 …±450mm

±5 …±450mm

焦距调节模式

线性导轨升降

手动微调焦5um

高度调节行程250

<--

手动微调焦5um

电动升降，自动聚焦

电动调焦步进0.5um

<--

电动调焦步进0.5um

尺寸(mm)

重量(kg)

355 x 455 x 970

35

355 x 490 x 1000

35

550 x 750 x 1733

60

750 x 1150 x 2000

80

可扩展测量范围

测量精度及模式

可扩展到 ±2000 mm （焦距、曲率半径）；

保证测量精度：+/- 0.2微米或者+/-2秒； 测量模式-透射法和反射法，轴上测量

测量参数

及扩展

反射法和透射法测量球面中心偏差；透镜的定心胶合；组合透镜系统的中心偏差。光盘和光驱光学元件：CD光学读取头的调校；玻璃磁盘旋转的摇摆度。平面光学元件楔角。

BFL 、曲率半径、透镜厚度、非球面中心偏差、平面元件角度等。

其他参数

准直仪焦距150mm，通光孔径30mm，测量头焦距200mm；测量波长绿光；精密可旋转夹具；可倾斜双轴调节台TRT200带微调千分尺，精度2秒/1um；气浮平台的轴向径向精度0.05um；理想温度：20-22度（0-40）湿度30-70% ；*大供气压：1 MPa (10 bar)