详细介绍
6英寸激光干涉仪
--*大测量口径:150mm(平面与球面)
--气浮隔振系统,大理石平台
--气浮移动导轨,零件托盘快速移动,台面倾斜可调
--9英寸显示器
--Z轴上下行程:850mm(球面测量)
--6英寸平面参考物镜,λ/10
--6英寸球面参考物镜,λ/10-----F/0.75; F/1.5; F/3.3; F/7.2
测量分析软件可选
--*大测量口径:150mm(平面与球面)
--气浮隔振系统,大理石平台
--气浮移动导轨,零件托盘快速移动,台面倾斜可调
--9英寸显示器
--Z轴上下行程:850mm(球面测量)
--6英寸平面参考物镜,λ/10
--6英寸球面参考物镜,λ/10-----F/0.75; F/1.5; F/3.3; F/7.2
测量分析软件可选