自动聚焦粗糙度平面度3D测量 OEC SH
自动聚焦显微镜特色：
non-destructive, non-contact measurement非接触

high resolution and precision 高分辨率高精度极小测点

small measuring spot, high lateral resolution侧向分辨率高

coaxial measurement, no shading effects 同轴光无阴影

high sampling rate 高速扫描高采样率

integrated microscope for convenient 集成显微镜可方便

selection of measurement position 选取测量位置

典型应用：

镜头轮廓及侧面高度3D 三维形貌、粗糙度样品表面工艺的测量(工具, 汽缸, 成品检验等.)注塑模具测量(micro-)小零件尺寸量硅片平面度的测量R&D and Q&A in MEMS 微机电系统测量R&D and Q&A 医疗器械测量 catheters, prostheses etc.)

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