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详细介绍
| 规格 | 技术指标 |
| 衬底类型 | 透明或半透明衬底 |
| 光源 | 氙灯 |
| 光源寿命 | >8760H |
| 光谱范围 | 300-1000nm |
| 入射角 | 70度（40度-90度 每5度可调） |
| 光斑直径 | 100x120μm(Min80x100um) |
| 测量时间（不对焦） | <2S(单层模型),<约6s（多层模型） |
| 膜厚测量范围（单层膜） | 1nm-15μm |
| 对焦 | 自动讯号对焦 |
| 膜厚测量精度 | <0.5nm(基于标片) |
| 折射率测量精度 | <0.005(基于标片) |
| 厚度重复性精度： | <0.5A（1 sigma 标准差,10times）（基于标准片） |
| 折射率重复性精度： | <0.0005（1 sigma标准差,10times）（基于标准片） |
| 可测试膜层数量 | ≥2层 |
| 标片数量 | 2片 |
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