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详细介绍
轮廓形状测定机EF650产品参数
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| 测定范围 | Z:60mm X:100mm |
|---|---|
| 测定精度 | Z:士0.25%/满刻度 |
| 触针/测定力 | R25um 30mN以下 |
| 测定角度 | 上坡77° 下坡87° |
| 测定倍率 | 纵横均为1~200倍 |
| 分解能 | Z:0.1um |
| 直线度精度 | 1.0um/100mm |
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