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质朋仪器贸易(上海)有限公司>>晶圆检测装置>>μsprint hp-hsi 2000NanoFocus | 半导体晶圆检测设备(人工装载)

NanoFocus | 半导体晶圆检测设备(人工装载)

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  • 型号 μsprint hp-hsi 2000
  • 品牌
  • 厂商性质 代理商
  • 所在地

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更新时间:2020-08-19 12:26:37浏览次数:348

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产品简介

详细介绍

NanoFocus半导体晶圆检测设备(人工装载)产品参数



分辨率

X& Y轴: 0.5-2.5um;

Z轴:0.016 um;

取样率

20000Hz

工作距离

8 mm

扫描宽度

630um

高度范围

300 um – 400 um

机台尺寸

400mmx 400mm(可定制)



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