表面粗糙度测量仪的组成部分分为两部分：软件处理部分和硬件部分。

软件处理部分主要有两个模块，分别是数据处理模块和文件处理模块。在数据处理模块中主要论述了表面粗糙度的参数和图形、轮廓评定基准线和数字滤波器设计的算法，最后利用定标算法、误差分析，对表面粗糙度测量系统做出综合评价。在文件处理模块中主要介绍了对数据文件的打开、保存、打印以及图形的处理。

硬件部分则由传感器、驱动器、指零表、记录器和工作台等主要部件组成。

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