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（1）不稳定的冲突所引起：如指针、摆锤轴承不灵敏，作业活塞和测力活塞有冲突。可仔细检查，清洗修整，消除冲突扫除毛病。

　　（2）带动测力活塞滚动的皮带掉落。挂上皮带即可。

　　（3）三次元丈量仪缓冲阀绷簧失效。扫除办法配换绷簧。

　　（4）用油粘度过大。需求替换粘度合适的油扫除毛病。

　　（5）齿杆曲折。则需求校直或替换齿杆。

　　（6）三坐标丈量仪齿杆与齿轮啮合不良或齿杆与上面的绷碰擦。可通过调整齿杆与齿轮的啮合及绷的方位扫除。

　　（7）三次元丈量机作业台上的导轮与立柱碰擦。可通过调整导轮与立柱的间隙，保持大约0.5mm间隙扫除毛病。

　　全自动三坐标丈量机的组成比较复杂，主要有机械部件、电气控制部件、计算机体系组成。平时我们在运用三坐标丈量机丈量工件的一起，也要留意机器的保养，以延长机器的运用寿命。长时间的保护也有助于削减毛病的发生率。