一维X轴压电纳米定位台

P66一维X轴压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位 系统。可以通过叠加组合的方式组成二、三维压电纳米定位台，实现XYZ轴34μm的位移行程，可选择内置高精度传感器进行闭环纳米级 精密定位控制。产品已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。

典型应用

• 干涉/ 扫描 • 计量

• 质量保证测试 • 微加工/精密控制

• 光盘驱动测试 • 半导体技术

应用实例：原子力探针扫描显微镜

芯明天P66.XY压电纳米定位台以其高响应频率、高精度、高可 靠性等优势广泛应用于原子力探针扫描显微镜中。

特性：

• 大位34μm• 开环闭环可选 • 大承载5kg• 重复定位精，可达纳米级• 亚毫秒响应时间

1-3维平移台

P66系列压电纳米定位台包括X、XY、XZ、XYZ 多种规格型号，可以实现1-3维纳米级精密运动与定 位。

开环与闭环版本可选

P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版 本，闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快 速响应的应变传感器（SGS），配备在驱动机构的合 适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信 号。

传感器使用全桥配置以消除热漂移，使得该系列 纳米定位台可以实现满行程0.05%的线性度与重复 度。

P66一维X轴压电纳米定位台技术参数;

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。