P93.X100一维X向快速*定位器 118μm价格

防尘防液滴、高刚度

采用大出力压电陶瓷

闭环分辨率高

快速*定位器可进行防尘防液滴处理，使其能工作在湿度环境。

定位器台体材料采用不锈钢材质以加工过程中的稳定性，可以结构稳定可靠，加工精度不会因颤动而受影响。

快速*定位台采用的压电陶瓷的出力是其他压电纳米定位台出力的几倍。

不同于振动加工，*位置可以通过内置传感进行 反馈控制，实现纳米级分辨率。

型号

尾缀C、L-闭环

P93.X100C

P93.X100L

P93.X100K

单位

尾缀K-开环

运动自由度

X

X

X

运动和定位

标称行程范围（0~120V）

95

95

95

µm±20%

行程范围（0~150V）

118

118

118

µm±20%

传感器类型

CAP

LVDT

-

分辨率

15

20

10

nm，typ.

闭环线性度

0.1

0.15

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.03

0.05

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<20

<20

<20

µrad

机械性能

运动方向推/拉力

300/25

300/25

300/25

N

运动方向刚度

3

3

3

N/µm±20%

空载谐振频率

0.2

0.2

0.2

kHz±20%

空载阶跃时间

30

30

7

ms±20%

空载工作频率*

10%行程

50

50

>50

Hz±20%

*行程

10

10

>10

承载能力

20

20

20

Kg

驱动性能

静电容量

15

15

15

μF±20%

其他

工作温度范围**

-20~80

-20~80

-20~80

°C

材质

钢

钢

钢

外形尺寸（长×宽×高）

120×60×60

120×60×60

120×60×60

mm

重量

3500

3500

3500

g±5%

出线长

1.5

1.5

1.5

m±10mm

传感/电压连接器***

LEMO

LEMO

LEMO