3D表面轮廓仪7100

　　NewView 7100白光干涉仪是高性价比非触摸式外表轮廓仪。NewView 7100外表轮廓仪以其*的精细度和准确度定性和定量地反映出样品的外表粗糙度、台阶高度、关键部位的尺度以及样品的描摹。测量过程精细，高速，非触摸，且样品无需特别处理。在高速扫描状态下纵向测量规模能够从小于1nm至20000μm，基于ZYGO的扫描技能。无论怎样的外表描摹，扩大倍数以及台阶特性，NewView 7100系列只需一次扫描即可到达0.1nm的纵向分辨率，并获得一切的被测参数。

　　体系参数:

　　◆原理:非触摸、三维白光扫描干涉仪

　　◆扫描装置:闭环反馈压电陶瓷，高线性电容传感器,

　　◆视场扩大倍率：高质量分立扩大倍率镜头：0.5×,0.75倍率:×,1.0×,1.5×,2.0×

　　◆成像扩大:电动3位体系成像扩大

　　◆视场:0.03-14mm，跟物镜和扩大倍率有关,运用图像拼接技能能够得到更大规模

　　◆光源:均匀成像，高效率，特别设计长寿命白光LED物镜座标配:可快速装卸单物镜夹具

　　◆操控:滤光板托架，视场光阑（辅佐聚集）

　　◆测量阵列:标配640×480像素；可选更高分辨率992×992

　　◆样件调查:液晶显示屏实时调查

　　◆精细聚集:电控手动和自动聚集

　　◆Z轴驱动:直流无刷微步进电机驱动，200mm行程,0.1μm精度

　　◆尺度:157×132×89cm，NewView：81×58×41cm，

　　◆分量:体系分量：约430Kg

　　◆输入电压:100-240VAC,50/60 Hz

　　◆计算机:带液晶显示器的高性能DELL计算机

　　◆软件:ZYGO MetroPro软件

　　◆物镜座:可快速装卸单物镜夹具,选件:手动6位塔台；电控6位塔台；

　　◆物镜：1X,2X,2.5X,5X,10X,20X,50X,100X

　　◆样品台:手动,俯仰.倾斜(±6°)和XY平移(±100mm),电动,俯仰(±4°)和XY平移(152mm)电动,俯仰(±4°)X-Theta(orY-Theta）和XY平移(152mm)三种可选.

　　◆纵向扫描:150μm，拓展扫描形式可到20mm,

　　◆纵向分辨率＜0.1nm,横向分辨率0.36～9.5μm，与所选物镜有关,

　　◆扫描速度≤26μm/sec,与所选的CCD和扫描形式有关

　　◆zui大数据点:标准307200；可选984064；

　　◆RMS重复性＜0.01 nm，RMSσ

　　◆台阶测量:准确度≤0.75%;重复性≤0.1% 1σ

　　◆测样品特性:各种材料的外表：通明，不通明，镀膜,非镀膜，反射，弱反射

　　◆zui大尺寸:89×203×203mm(高×宽×长);反射率:1-99.99%