世界上以第一个触发式测头：虽然第一台测量机已经应用了数显技术，但是测量零件时仍用硬测头接触零件，然后用脚踏开关来锁存坐标读数，测量圆孔位置则要用于圆锥形硬测头，测量尺寸时则用球形硬测头，这些都使得操作复杂，特别是从不同方位测量大型复杂零件时更是如此。测头补偿困难，受人为因素影响较大，测量精度不高，精度只能达到0.025mm。硬测头还限制了数控技术在测量机上的应用。

     1972年，当时身为Rolls-Royce公司副总设计师为了帮助解决协和号飞机发动机上直径为6.35mm复杂形状的油管直径的测量难题，发明了一个接触式触发测头。由于应用了一个触发式测头三点支撑的静定结构，测头对所面临的的测量任务有足够的精度和稳定性，精度能达到0.01mm以内。

     由于触发式测头的出现，使得测量机从此只能静态测量发展到在运动中测量们同事根据被测物体不同的形状，材料和测量要求，又相续推出各种接触式和非接触式测头，其中又有触发，扫描方式之分。

     控制技术的发展：随着测量系统机械性能的提高，伴随着控制和软件技术的迅猛发展，测量机已从早期的手动型，机动型迅速转化为数控型，使得测量速度更快，精度更高，并大大简化了测量操作人员日常的工作强度。

同时，随着数控坐标测量系统的推动，各种自动的测头探针跟换位置，自动上下料机构相续出现，使得测量系统能更好的整合在现代化工业生产中，发挥着主要作用。

   软件在测量机上的应用日趋重要：监于几何 物体都是一些空间点上集合，坐标测量机归根结底，只是获取空间点的坐标值的仪器设备，只要用软件对这许多点进行处理，计算才能给出测量对象的位置，尺寸，形状而且也可以进行测头。温度，几何量误差的补偿。软件的第一功能是进行数据处理，还和控制系统结合在一起，指挥和控制测量机的运行。

   三坐标测量技术于软件技术的日益紧密结合，使得测量机的用途日益强大，从单纯质量保证过程中的测量设备转化为设计，工艺，制造和检测环节中*的重要设备。尤其是伴随着数字技术和CAD技术的广泛应用，测量软件成为测量机于其他外设，加工设备和CAD系统沟通的桥梁。测量机不在是消的是或不是的判定的角色，而是能够广泛应用在逆向设计，生产检测，信息统计没反馈信息等多种用途。