SuperView W1光学3D表面轮廓仪

SuperView W1光学3D表面轮廓仪 产品型号：SuperView W1产品名称：光学3D表面轮廓仪影像系统：10241024（20482048，25921944可选）光学Zoom：1，（0.75，0.5可选）干涉物镜：2.5，5，10，20，50XY平台：尺寸320200mm，行程140110mm，电控XY横向分辨率：0.4mZ轴行程：100mmZ向分辨率：0.1nm单次Z向扫描范围：10.3mm，厚度重复性1nmZ向扫描速度：45m/s可测样品高度：100mm可测样品反射率：0.05%-*水平调整：5粗糙度RMS重复性：0.005nm台阶高测量：准确度＜0.7%，重复性＜0.1% 1主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效......

物镜倍率	2.5×	5×	10×	20×	50×
数值孔径	0.075	0.13	0.3	0.4	0.55
可测样品角度	4.3°	7.5°	17.5°	23.5°	33.4°
光学分辨率@550nm（µm）	3.7	2.1	0.92	0.69	0.5
焦深（µm）	48.6	16.2	3.04	1.71	0.9
工作距离（mm）	10.3	9.3	7.4	4.7	3.4