VX3000系列闪测仪

型号

VX3030

VX3100

VX3200

图像传感器

500万像素CMOS

显示器

机身显示器

10.4英寸 LCD显示器（XGA：1024×768）

外接显示器

24英寸 LCD显示器（XGA：1920×1080）

受光镜头

双远心镜头

照明系统

落射系统

四分割照明（白光）

透射系统

远心透过照明（绿色）

视野mm

20×L120

Φ100×L200

200×200

（4角R50）

重复精度μm

±1μm

±2μm

测量精度μm

无拼接*¹

±2μm

±5μm

有拼接*²

±(4+0.02L) μm

±(7+0.02L)μm

测量软件

VisionX

显示分辨率

0.1μm

支持触发测头

不支持

支持

XY电动座标台

X移动范围

100mm

Y移动范围

————————————

100mm

承重

2kg

2kg

5kg

Z向移动范围

35mm(电动)

75mm(电动)

外形尺寸(L×W×H) mm

500×260×635

500×260×635

500×325×700

重量

30kg

31kg

40kg

工作电源

AC220V/50Hz

工作环境

温度10℃~35℃，湿度30~80%，振动<0.002g，低于15Hz