影像测量仪是建立在CCD数位影像的基础上，依托于计算机屏幕测量技术和空间几何运算的强大软件能力而产生的。计算机在安装上控制与图形测量软件后，变成了具有软件灵魂的测量大脑，是整个设备的主体。影像测量仪是基于光学原理的所以测量时要先对焦，然后对准后读数。读数是通过光栅尺系统，所以光照条件和光栅尺精度很重要。误差就有以下来源：

1、测量室温度引起误差；

2、光照条件变化误差；

3、光栅尺误差；

4、工作台移动误差；

5、工作台测量轴垂直度误差；

6、显微镜轴与工作台垂直度误差；