三坐标测量机主要由：主机，控制系统，探头系统和软件系统组成。以下主要介绍蔡司三坐标测量机的控制系统。

控制柜C99——控制技术的可靠性和的控制运作是蔡司三坐标测量机的传统标志：ISC智能扫描控制系统，内置矢量控制技术；探测力不受任何偏移影响的主动扫描；带散热装置的C99控制柜保护等级是IP22。蔡司三坐标测量机采用高机动性伺服驱动系统，各轴皆有电子驱动监测和可靠的防碰撞保护功能，X和Y轴还附加有冲力限制机构。控制系统本身就是一个计算机系统，具有自诊断功能。高性能的仿样内插（Spline interpolation）使探头可以精确跟踪规定的路径。*的21项参数几何误差补偿。蔡司三坐标测量机的控制系统采用*的多微机多轴矢量控制系统，该控制系统是目前三坐标测量机领域中的控制系统。