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详细介绍
378系列--半导体检测用显微镜FS-70的特点
1.此光学系统初是为的FS60型（后升为FS70型）而开发的。它作为测量检测半导体器件的显微镜是很理想的。
2.FS70L支持3种YAG激光波（1064nm，532nm,355nm)，FS70L4支持2种波长（532nm,266nm），可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。这就扩大了激光的使用范围。然而，使用三丰量具对显微镜的激光穖的性能和安全性，三丰公司不负责任。我们*在选购激光发射器时应仔细检查。
3.FS70Z的标准功能有：亮视场，微分干涉对比（DIC）和偏振观测。FS70L和FS70L4不支持DIC。 4.使用内置式转换器使得长工作距离物镜的操作很简单。
5.易操作的设计：FS70采用正像光学系统（视场中的像与样品方向相同）并用橡胶把手加大微调手轮。
378系列--半导体检测用显微镜FS-70的性能参数
型号 | FS-70 | FS70-TH | FS70Z | FS70Z-TH | FS70L | FS70L-TH | FS70L4 | JS70L4-TH |
货号 | 378-184-1 | 378-184-3 | 378-185-1 | 378-185-3 | 378-186-1 | 378-186-3 | 378-187-1 | 378-187-3 |
短基座型号 | FS70-S | FS70-THS | FS70Z-S | FS70Z-THS | FS70L-S | FS70L-THS | FS70L4-S | FS70L4-THS |
货号 | 378-184-2 | 378-184-4 | 378-185-2 | 378-185-4 | 378-186-2 | 378-186-4 | 378-187-2 | 378-187-4 |
对焦 | 50mm行程，同心焦距粗调（3.8mm/rev)和微调（0.1mm/rev)手轮（左、右0） | |||||||
图像 | 正像 | |||||||
瞳距 | Siedentopf型、调节范围 | |||||||
视场数 | 24 | |||||||
俯角 |
| 0°至20° |
| 0°至20° |
| 0°至20° |
| 0°至20° |
透过率 | 50/50 | 100/0或0/100 | 50/50 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 |
管镜头 |
| 内置激光射线滤光片 | ||||||
适用激光 | 1× | 1× | 1× | 2×zoom | 1× | 1× | 1× | 1× |
适用激光 |
|
|
|
| 1064/532/355mm | 532/355mm | ||
相机端口 | C-mount(使用适配器B选件） | 使用带有电视端口的激光片 | C-mount插座（带有绿色滤光片转换开关） | |||||
照明系统、可选 | 亮视场反射照明（科勒照明、带光圈） 12V 100W光纤、无亮度调节、光导长度：1.5m、功耗150W | |||||||
物镜、可选 | M Plan Apo,M Plan Apo SL, G Plan Apo | |||||||
物镜、可选 |
|
|
|
| M/LCD Plan NIR M/L CD Plan NUV | M Plan UV | M Plan UV | |
载重 | 14.5kg | 13.6kg | 14.1kg | 13.2kg | 14.5kg | 13.6kg | 14.1kg | 13.2kg |
重量（主机） | 6.1kg | 7.1kg | 6.6kg | 7.5kg | 6.1kg | 7.1kg | 6.6kg | 7.5kg |
378系列--半导体检测用显微镜FS-70的技术参数
对焦
方法：有同心粗调和微调手轮（左和右）
范围：50mm测量范围，微调0.1mm/rev同心粗调3.8mm/rev
三目镜筒图像：正像
瞳距：Siedentopf型
调节范围：51-76mm
视场数：24
俯角：0°-20°(仅用于-TH，THS型号）
照明系统：亮视场反射照明（科勒照明、带光圈）
光源：12V100W光纤、无亮度调节 ），光导长度1.5m、功耗150W
物镜（选件）：M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
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