详细介绍
基本参数
X向量程:100mm
Z向量程:320mm
X轴检测方法:高精度光栅传感器/分辨率:0.2μm
Z1向量程:±0.5mm,±1.25mm,±2mm,±5mm
X轴精度:±(3+0.02L)μm
Z1轴精度:±0.3%f.s.
X轴直线度:1.2μm/100mm
X轴测量速度: 0.1,0.2,0.5,1mm/s,自定义
驱动方式及速度:X轴 Z轴均为 电动 4档,可自定义速度
量程与分辨率比例:65536:1(16位)
传感器类型:差动变压器,2段式
天津佰立特科贸有限公司 |
参考价 | 面议 |
更新时间:2023-06-14 09:51:40浏览次数:548
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X轴检测方法:高精度光栅传感器/分辨率:0.2μm
Z1向量程:±0.5mm,±1.25mm,±2mm,±5mm
X轴精度:±(3+0.02L)μm
Z1轴精度:±0.3%f.s.
X轴直线度:1.2μm/100mm
X轴测量速度: 0.1,0.2,0.5,1mm/s,自定义
驱动方式及速度:X轴 Z轴均为 电动 4档,可自定义速度
量程与分辨率比例:65536:1(16位)
传感器类型:差动变压器,2段式