100级无尘烤箱CM-100T_晶圆PI胶固化

100级无尘烤箱CM-100T_晶圆PI胶固化

100级无尘烤箱CM-100T概述： 
晶圆PI胶固化烤箱CM-100T是参照 Federal Standard(FS)209E 无尘等级规格研发制造，广泛应用于电子液晶显示屏、LCD、CMOS、IC、实验室等生产及科研部门。采用平面水平送风，然后经过进口HEPA Filter装置 (特殊风道设计)送风，过滤效率可达99.99%，满足Class 100级无尘规格，排气口为3"φ(附自动启闭风门功能),以达到强烈循环的效果。

100级无尘烤箱CM-100T箱体结构：
·烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热器及风道系统部分组装而成，结构合理，外型美观大方
·全周氩弧焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电加热器，防止机台本身产生微尘
·箱体材料：SUS304#不锈钢板
·内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，
·并经碱性苏打水清洁，去油污以避免烘烤时产生微尘
·中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，
·并经碱性苏打水清洁，去油污及氩弧焊密封加工(防污染)
·保温材料：采用正厂*玻璃纤维公司出品，100K级高密度高保温板制造
·电热器：采用进口覆套式电加热器 (SHEATHED HEATER)，为无尘化电热发生器
·洁净度：烤箱内部均采用无尘化配件及材料

CM-100T（100级无尘烤箱）规格：  
无尘等级        Class 100
温度范围        室温～+250℃
升温速度        常温～+200℃, 升温斜率程序可控
温度均匀度      ±1%；（空载）
温度精确度      ±1℃；（空载）
工作室尺寸      W600×H550×D500 mm
外形尺寸        W1100×H1700×D1220 mm
加热功率        14kw
层板            共2片
环境条件        温度 5～40℃；湿度 ≤85%R.H
电源            AC380v , 三相，50Hz
气压            86～106Kpa
使用条件        无强烈振动，无强磁场影响，无腐蚀性气体
                箱体周围应留有500mm的空间供设备安装、维修使用

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