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研磨平台规格:(特殊规格需定做)
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| 精度等级 | |||
0级 | 1级 | 2级 | 3级 | ||
平面度公差(um) | |||||
研磨平台 | 100*200 | 4.9 | 9.8 | 19.6 |
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200*200 | 5 | 10.3 | 20.5 |
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200*300 | 5.5 | 10.9 | 21.8 |
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300*400 | 6 | 12 | 24 |
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400*400 | 6.5 | 12.5 | 25.1 |
| |
400*500 | 6.5 | 13.1 | 26.2 | 65.6 | |
500*500 | 7 | 13.8 | 27.5 | 68.8 | |
500*600 | 7 | 14.2 | 28.5 | 71.2 | |
500*800 | 8 | 15.5 | 31 | 78 |
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