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详细介绍
| 圆度测量单元， C轴 | MFU100 |
| 圆度误差 (μm+μm/mm 测量高度)** | 0.02 + 0.0004xH |
| 圆度误差 (μm+μm/mm 测量高度)* | 0.01 + 0.0002xH |
| 轴向跳动 (μm+μm/mm meas. radius)** | 0.04 + 0.0002xR |
| 轴向跳动 (μm+μm/mm meas. radius)* | 0.02 + 0.0001xR |
| 分辨力 (插值) | 0.0001° |
| 调心调平工作台 | 自动 |
| 工作台直径 (mm) | 180 |
| 工作台承重， 无偏心 (N) | 200 |
| 转速 (rpm) 50 Hz/60 Hz | 0.1 to 15 |
| 垂直直线测量单元， Z轴 |
|
| 测量行程 (mm) | 320 |
| 直线度误差/100 mm (μm)** | 0.1 |
| 直线度误差/200 mm (μm)** | 0.2 |
| 直线度误差/测量长度(μm)** | 0.3 |
| 平行度误差Z-/C轴，沿测头扫描方向(μm) | 0.6 |
| 测量速度(mm/s) | 0.1 to 50 |
| 定位速度(mm/s) | 0.1 to 50 |
| 定位不确定度 (μm)带测头回程定位 | 1 |
| 定位不确定度 (μm) (全程定位 P to VDI 3441) | 2 |
| 分辨力(μm) | 0.001 |
| 水平直线测量单元， X轴 |
|
| 测量行程 (mm) | 190 |
| 直线度误差 /100 mm (μm)** | 0.15 |
| 直线度误差 / 测量长度 (μm)** | 0.3 |
| 垂直度X/C轴 (μm) | 0.3 |
| 测量速度 (mm/s) | 0.1 to 50 |
| 定位速度 (mm/s) | 0.1 to 50 |
| 定位不确定度 (μm)带测头回程定位 | 1 |
| 定位不确定度 (μm) | 2 |
| (全程定位 P to VDI 3441) | 0.2 |
| 直径测量精度 (μm) | 0.001 |
| 水平直线度测量单元，Y轴 |
|
| 测量行程 | 6 |
| 直线度误差 (μm/5 mm，滤波 0.25 mm) | 0.5 |
| 垂直度Y/X轴 (μm) | 1 |
| 分辨力 (μm) | 0.005 |
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