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晶圆切割机DhPDS-12in

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更新时间:2021-12-07 15:22:46浏览次数:352次

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结构特点1、大理石轴架结构,经过有限元应力分析设计结构,使得机台高强度、高稳定性

结构特点

1、大理石轴架结构,经过有限元应力分析设计结构,使得机台高强度、高稳定性。

2、对每根轴进行激光干涉仪数据补正,保证轴的高精度运行。

3、两主轴刀距可达23.5mm,实现了双刀切割的加工速度。

4、非接触式无损对刀、接触式物理对刀、修道模块集成到切割平台,提高切割效率。供应12in、18in、21in、 25in切割平台。且平台还可根据产品需求选择铝制、钢制、陶瓷等加工平台。

5、自主研发高精度大推力直驱转台,提高工作台面运动精度,提升产品切割良率。

6、采用脉冲式水气切割刀架,对根据产品切割工艺实时调节切割水幕.

软件功能:

l.智能规划:智能切割规划,根据砂轮寿命计算切割路径,确保砂轮寿命大

2.操作简单:自主独立开发的软件操作控制系统,与市面上的其他操作软件相比拥有更加人性化的操作界面

3.实时监控:软件界面主轴负载监控,刀轮余量监控可以更直观实时的了解设备运行状态

4.辅助手动操作:视觉图像下距离可调性并且实时显示当前的实际距离,方便操作,了解设备切割的具体数据

5.定位方便:软件的中心定位功能,可以更加方便的定位到的位置

6.安全保障:提供多种操作权限和登录权限,提高设备的安全性,降低人为操作的失误率

参数

项目

设备型号设备

DhPDS-12in

双主轴

额定功率(KW)

1.8

大转速(rpm)

60000

Y

切割进刀速度(mm/s)

0.01~400

行程(mm)

550

定位精度(um)

±0.5

X1/X2

大速度(mm/s)

200

行程(mm)

300

定位精度(um)

±0.5

Z1/Z2

大速度(mm/s)

100

行程(mm)

50

定位精度(um)

±0.5

承载
平台

尺寸(mm)

Φ300

平面度(um)

5

旋转平坦度(um)

5

破刀检测功能

标配配件

非接触对刀

其他

设备尺寸(mm)

1335*1530*1755 

砂轮修整

设备重量(Kg)

1800 

额定功率(KW)

5.8 

 

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