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详细介绍
产品特征:
*行程4m x 4m
以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台良好接地设计防止杂讯干扰 Z向震动可达奈米等級以下*速度可达5m/s 标准重現精度1um或以下位置回馈系统解析度*可达50nm
产品应用:
半导体设备
自动化搬送
FPD设备
太阳能制造设备
PCB设备
水刀设备
钻石切割设备
AOI检测设备
工具机
| 乐为传动科技（苏州）有限公司 |
| 参考价 | 面议 |
更新时间：2021-04-06 11:38:59浏览次数：236
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产品特征:
*行程4m x 4m
以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台良好接地设计防止杂讯干扰 Z向震动可达奈米等級以下*速度可达5m/s 标准重現精度1um或以下位置回馈系统解析度*可达50nm
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半导体设备
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