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RWD双臂晶圆机器人

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更新时间:2021-04-03 11:04:30浏览次数:422

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产品简介

RWD双臂晶圆机器人

详细介绍



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特征


软硬件垂直整合优势,并且采用高精密,高刚性直驱马达,重复精度达±0.02mm,回转半径小,空间使用率高。


应用


适用于半导体产业(晶圆取放)、光电产业(小型面板、小型太阳能板)、LED产业(蓝宝石基板、胶环)等取放设备。

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