直线电机可以搭配各种位置回馈系统，1micron的数字式光栅尺普遍。当然也可以选择例如0.1micron的数字光栅尺，但要注意运动控制卡是否可以支持高速运动，如果想兼顾高解析和高速度运动的话，可以选择模拟式的弦波光学尺。以40micron的模拟尺而言，搭配适当的驱动器或控制器解析到数十个奈米都没有问题。

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