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武汉华锐超快光纤激光技术有限公司
产地 | 国产 |
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HR-Femto 200 系列光纤飞秒激光器
· 高达200微焦的单脉冲能量
· 支持Burst Mode
· 脉宽小于350fs
· 光、电一体化设计
· 一键式操作,无任何调节旋钮
· 内置光学隔离装置
· 内置脉冲选择器
· 可远程控制,免维护
HR-Femto 200 系列是由 Huaray 自主研发生产的,稳定、可靠的飞秒脉冲光纤激光器产品,也是国家重点研发计划专项研发成果。该系列产品采用光、电一体化设计,脉宽小于350飞秒,单脉冲能量高达200微焦,并支持Burst Mode模式,可广泛应用于用于半导体晶圆加工,玻璃等硬脆性材料加工或焊接,高分子材料加工与处理,科研制造等领域,陶瓷与聚合物加工等领域。
产品特点
· 高达200微焦的单脉冲能量
· 支持Burst Mode
· 脉宽小于350fs
· 光、电一体化设计
· 一键式操作,无任何调节旋钮
· 内置光学隔离装置
· 内置脉冲选择器
· 可远程控制,免维护
应用领域
· 半导体晶圆加工
· 陶瓷与聚合物加工
· 金刚石加工
· 新能源材料加工
· 硬脆性材料加工与焊接
· 难加工金属加工
· 高分子材料加工与处理
型号 | HR-Femto 200-35 |
中心波长 | 1035nm |
输出功率 | 35W |
脉冲能量 | 200μJ@175kHz |
峰值功率 | >500MW |
重复频率 | 100kHz to 5MHz |
脉冲宽度 | <350fs |
光束质量 | M2≤1.3 |
光斑发散角 | <1mrad,2θ |
光斑圆度 | ≥90% |
光束直径 | 4±2mm,1/e2 |
偏振比 | >100:1 |
偏振方向 | Vertical |
脉冲能量稳定性 | <2%RMS |
功率稳定性 | <2%RMS |
启动时间 | <45min(Cold Start) <15min(Warm Start) |
外部接口 | RS-232, Ethernet, USB |
工作环境温度(非结露) | 20 to 30℃ |
储存温度 | -20 to 60℃ |
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