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详细介绍
皮秒微加工激光器特性：
l 脉冲能量达 1000μJ
l 脉宽可小于 8ps
l 峰值功率达 125MW
l 重复频率可达 15MHz
l 平均功率达 400W
l 波长可选1064、532、355、266nm
皮秒微加工激光器应用：
l 光伏产业，如:硅晶圆的划片、打孔和切割；导电层和绝缘层的烧蚀
l 印刷工业，如: 印刷轮雕版
l 显示领域，如: 构造导电层，横向连续硅结晶
l 电子行业，如: 印刷电路板的钻孔和切割
l 工具制造和机械工程，如: 三维快速成型
波长(nm) | 1064 | 532 | 355 | 266 |
光束质量M2 | 1.1 | 1.1 | 1.5 | 2 |
平均功率(W) | 100 | 60 | 30 | 10 |
重复频率(MHz) | 15 | 15 | 15 | 15 |
单脉冲能量(μJ) | 200 | 120 | 70 | 30 |
脉宽(ps) | 8 | 8 | 8 | 8 |
能量稳定性(%)rms | 1 | 2 | 3 | 4 |
定时稳定性(ns) | 60 | 60 | 60 | 60 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
出口光斑直径(mm) | 3 | 3 | 3 | 3 |
满量程发散角(μrad) | 500 | 250 | 226 | 226 |
电源 | 90V-264V,50/60Hz 1kW | |||
水冷机 | 230, 208, 115, 100V, 50/60Hz 0.8kW | |||
工作温度 | 15-30℃ | |||
激光头 | 650mm*268mm*139mm 36kg | |||
电源及水冷机组 | 19"*10HU*650mm 62kg | |||
波长(nm) | 1064 | 532 | 355 | 266 |
光束质量M2 | 1.5 | 1.5 | 1.8 | 2 |
平均功率(W) | 400 | 200 | 120 | 40 |
重复频率(MHz) | 15 | 15 | 15 | 15 |
单脉冲能量(μJ) | 1000 | 500 | 120 | 40 |
脉宽(ps) | 8 | 8 | 8 | 8 |
能量稳定性(%)rms | 1 | 2 | 3 | 4 |
定时稳定性(ns) | 60 | 60 | 60 | 60 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
出口光斑直径(mm) | 5 | 5 | 5 | 5 |
满量程发散角(μrad) | 406 | 203 | 163 | 136 |
电源 | 180V-264V,50/60Hz 4kW | |||
水冷机 | 230,50Hz；460/208V,60Hz 3kW | |||
工作温度 | 15-30℃ | |||
激光头 | 650mm*444mm*167mm 56kg | |||
电源及水冷机组 | 19"*20HU*750mm 110kg | |||
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