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详细介绍
纳秒微加工激光器特性：
1. 光束质量: M² < 2
2. 脉冲能量达60mJ
3. 脉宽可小于5ns
4. 峰值功率达10 MW
5. 重复频率可达150kHz
6. 平均功率达600W
7. 波长可选1064、532、355、266nm
纳秒微加工激光器应用：
l 光伏领域，如: 薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀印刷工业，如: 印刷轮雕版
l 显示领域，如: 导电层的结构化，硅片的有序横向晶化
l 科研领域，如: 作为染料激光器、OPO、Ti:宝石激光的泵浦，粒子成像测速
波长(nm) | 1064 | 532 | 355 | 266 |
光束质量M2 | 1.5 | 1.5 | 1.7 | 2 |
平均功率(W) | 600 | 200 | 60 | 15 |
重复频率(kHz) | 150 | 150 | 15 | 15 |
单脉冲能量(mJ) | 60 | 30 | 12 | 7 |
脉宽(ns) | 6 | 5 | 8 | 7 |
能量稳定性(%)rms | 1 | 2 | 3 | 4 |
定时稳定性(ns) | 5 | 5 | 5 | 5 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
出口光斑直径(mm) | 5 | 5 | 5 | 5 |
全角发散角(μrad) | 406 | 203 | 154 | 136 |
电源 | 180V-264V,50/60Hz 4kW | |||
水冷机 | 230V,50Hz；460/208V,60Hz 3kW | |||
工作温度 | 15-30℃ | |||
激光头 | 670mm*370mm*171mm 52kg | |||
电源及水冷机组 | 19"*16HU*700mm 94kg
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