详细介绍
1进料→超声波清洗→超声波清洗→超声波清洗→超声波漂洗→出料
2 清洗目的:去除工件加工过程中残留的油污及粉屑
3清洗介质:水+脱脂剂
4清洗对象:晶圆
5 设备流向:从右至左,进出料口设在设备正面,采用垂直进出料方式。
4. 工作节拍:
4.1以提篮为片盒载具入槽进行处理,每槽同时处理一个提篮,提篮规格为560×465×200nn,采用8mm不锈钢元棒焊接制作,,每个2吋提篮可装载2吋晶片21盒(525片)、每个4吋提篮可装载4吋晶片12盒(300片)。每个片盒放置25个晶片
4.2提篮入槽、出槽及槽位间传递均由智能机械臂自动操作完成。机台的上下料由人工完成。