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详细介绍
ABL3600气浮平台
1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测*应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,精度高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
精度±1um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.50um
平面度±1um
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北京高控科技有限公司 |
| 参考价 | 面议 |
更新时间：2017-11-30 17:59:36浏览次数：697
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ABL3600气浮平台
1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测*应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,精度高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
精度±1um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.50um
平面度±1um
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