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晶圆激光直切机

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更新时间:2020-08-20 14:23:42浏览次数:416

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产品简介

广泛应用于集成电路晶圆、GPP二极管晶圆、GPP可控硅晶圆的切线切割,以及low-K材料的开槽切割

详细介绍

1、简化生产流程,降低生产成本


2、速度快,效率高,零破片率


3、非机械加工,无机械应力,提高芯片质量


4、CCD快速定位功能


5、高精度的直线运动平台,高精度DD旋转平台


6、大理石基座,稳定可靠,热变形小


7、精密数控系统


8、全中文操作界面,操作直观,简易,界面良好


9、划线工艺专家系统


10、高可靠性和稳定性


11、激光器:IR/UV(选配)

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